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微納真空電子器件研究中心
發布日期:2019-12-25

中心簡介

微納真空電子器件研究中心,依托北京大學信息科學技術學院物理電子學研究所和納米器件物理與化學教育部重點實驗室,致力于研發實用新型芯片式電子源和X射線源,像LED帶來電光源技術的變革一樣,用芯片式電子源帶來電子源技術的變革性改變。

人員組成

中心目前有北京大學3位教師,4位在讀博士生,2位專職研發人員,人員簡介如下:

魏賢龍,中心主任,北京大學信息科學技術學院研究員。主要研究領域是芯片式電子源及芯片式電真空器件。

郭等柱,北京大學信息科學技術學院副研究員。主要研究領域是微型質譜儀及微電子器件的真空封裝。

張耿民,北京大學信息科學技術學院教授。主要研究領域是納米材料的場發射。

王雨薇、楊威、李志偉以及詹芳媛,北京大學信息科學技術學院在讀博士,主要研究領域是芯片式電子源及其應用。

劉文超,研發工程師,主要研究領域是X射線源的真空封裝及相關專利申請。

趙振征,研發工程師,主要研究領域是芯片式電子源的制備及X射線源的高壓測試。

實驗平台

目前,中心具有良好的實驗平台,像微纳加工超净间、环境扫描电镜、4200探針台、場發射真空系統、陽極鍵合機、氦質譜檢漏儀等等,同時也與一些商家合作,具有較完善的芯片式電子源和X射線源制備平台。

科研成果

1. 石墨烯片上微型熱電子源及陣列

世上首個片上微型熱發射電子源,實現了熱發射電子源的微型化、片上化和陣列化,具有開啓電壓低,開關響應時間快,發射性能可控性好等優點。相關工作于第29屆國際真空納米電子學大會獲得了the SGS Award

 

2. 碳納米管片上微型熱電子源及陣列

工作電壓低,真空要求低,集成性好,而且可通過陽極鍵合等方式,實現MEMS封裝。

 

3. 氧化矽片上微型電子源及陣列

首次提出阻變材料內場發射機制,發射效率高,結構簡單且加工容易。

 

4.  部分相關論文和專利

[1] G.T. Wu, X. L. Wei*, S. Gao, Q. Chen, L. M. Peng. Tunable graphene micro-emitters with fast temporal response and controllable electron emission[J]. Nature Communications, 2016, 7, 11513.

[2] Wu Gongtao, Li Zhiwei, Tang Zhiqiang,等. Silicon Oxide Electron-Emitting Nanodiodes[J]. Advanced Electronic Materials:1800136-.

[3] Wang Y, Xiang L, Yang W, Li Z, Fang Z, Zhou D, Liu P, Wei X. High-Performance On-Chip Thermionic Electron Micro-Emitter Arrays Based on Super-Aligned Carbon Nanotube Films[J]. Advanced Functional Materials:1907814-.

[4] 魏賢龍.一種片上微型X射線源:中國,201821855698.5[P].2019,05,31.

[5] 魏賢龍,楊威.一種片上微型電子源:中,201821854867.3[P].2019,07,02.

[6] 魏賢龍,吳功濤,陳清.一種電子發射體功函數可調的陰極及其陣列:中,201510250562.6[P].2015,10,21.